21.08.2023

Тигли для роста монокристаллического кремния методом Чохральского

Одним из основных материалов, используемых в полупроводниковой промышленности, является кремний, без него невозможен выпуск кремниевых пластин – основы микроэлетроники. Для выращивания монокристаллов кремния с чистотой 99,999% широко применяется метод
вытягивания из расплава (метод Чохральского). Его суть - стабильный рост монокристаллов за счет вытягивания из расплава с помощью затравочного кристалла, такой же чистоты, как и монокристалл. Выращивание кремния по методу Чохральского обычно проводится из тиглей, изготовленных из высокочистого кварцевого стекла. Одно из важнейших преимуществ данного метода - постоянство скорости роста. Это способствует получению бездислокационных монокристаллов с правильной ориентацией, упорядоченной кристаллической структурой, определенными оптическими и электрическими параметрами, высокой чистотой монокристалла и другими свойствами. Тигли представляют из себя емкость, немного похожую на большую чашу, где и происходят вышеописанные химические процессы. Для того, чтобы они происходили оптимально, в соответствии с заложенными параметрами, тигли должны иметь совершенно идеальную для этого форму. В процессе изготовления тиглей необходимо четко выдерживать радиус, который калибруется специальным ножом и постоянство толщины стенки по всей образующей тигля. В процессе наплава радиус может немного меняться, тем самым изменяя форму изделия. Вся сложность в том, чтобы правильно определить радиус перехода дна в цилиндрическую часть изделия с точностью до десятых долей миллиметра. Несмотря на простоту формы тигли считаются технически сложными изделием и далеко не каждая компания обладает технологиями, позволяющими их изготавливать. Команда АО «ТКК» имеет большой опыт в изготовлении тиглей для роста монокристаллического кремния методом Чохральского и предприятия-производители кремния не раз обращались к нам с этим заказом. Развитая экспертиза и большой опыт в анализе качества кварцевого стекла, оценки его физических и химических свойств, позволяют нам успешно выполнять эту работу, каждый раз подтверждая свою компетентность в областиизготовления сложных изделий из этого уникального материала.